我々が，日々の生活で利用するインクジェットプリンタ，自動車，あるいは医療・研究活動において用いるDNAの電気泳動チップ，カテーテルセンサや神経電位計測プローブなどには，ナノ・マイクロメートルサイズの構造が多く含まれている。これらの根幹にあるのが，本稿で取り上げる半導体集積回路作製技術に基づくMicro Electro Mechanical Systems（MEMS）である。ここでは，MEMS技術のバイオ応用において近年提案されているOrgan-on-a-ChipあるいはMicrophysiological Systems（MPS）への展開について述べる。